Петросян Е.Р.

 Использование: микроэлектроника, оборудование для измерения параметров полупроводниковых пластин в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: устройство содержит два источника модулированного оптического излучения, оптические элементы связи, фотоприемник, фокусирующий элемент, предметный столик, датчик фотоЭДС с электродом емкостной связи и предусилителем, два...