Тутов Е.А.

 Использование: изготовление приборов микроэлектроники, в частности СВЧ-приборов. Сущность изобретения: полученные магнетронным распылением нестехиометрической мишени YBa6Cu11O2 сверхпроводящей пленки YBa2Cu3O2 на подложке, при котором состав газовой среды из смеси аргона и кислорода выбирают в соотношении 3:2. Расстояние между оппозитно установленными мишенью и подложкой устанавливают в п...