Достанко Анатолий Павлович[BY]

  Использование: нанесение покрытий в вакууме, в частности получение тонких пленок. Цель : повышение производительности устройства. Сущность изобретения: в устройстве между распыляемой мишенью и охлаждаемым основанием установлено уплотнение из теплопроводящего материала. Охлаждаемое основание снабжено кольцевым пазом и кольцевым выступом. Размеры и форма уплотнения, выступа и паза идентичн...

 Использование: в электронно-лучевой технологии, в частности, для электронно-лучевой термообработки структур на полупроводниковых и диэлектрических подложках. Сущность изобретения: устройство содержит электронно-лучевую пушку 1, управляемый блок 2 питания накала, входом соединенный с выходом усилителя 3 накала, вход которого соединен с вторым выходом измерителя 4 тока и входом усилителя 5,...

 Использование: сверхпроводниковая электроника. Сущность изобретения: в способе формирования пленочного микромостика, включающем нанесение пленки ВТСП-материала и формирование путем фотолитографии дорожки со слабой связью, сверхпроводимость в области слабой связи подавляют облучением поперек дорожки сфокусированным электронным лучом. 2 ил. Изобретение относится к электронике, в частности к...