Фолькер Леманн[DE]

 Использование: в микроэлектронике, аудио- и видеоаппаратуре. Сущность изобретения: конденсатор выполнен на легированной, монокристаллической кремниевой подложке /1/, снабженной путем электрохимического травления во фторсодержащем, кислом электролите, при котором подложка включена в качестве анода, множеством дырочных отверстий /3/, диэлектрическим слоем /4/ и проводящим слоем /5/ в качест...