Максименков Иван Григорьевич
Изобретатель Максименков Иван Григорьевич является автором следующих патентов:
Способ получения опорного слоя полупроводниковой структуры кремний-на-диэлектрике
Использование: в технологии изготовления интегральных схем с диэлектрической изоляцией. Сущность: формирование опорного слоя ведут посредством направления на поверхность слоя диэлектрического материала потока порошка кремния, его нагрева и осаждения в расплавленном состоянии на движущуюся и нагретую до температуры 800-1000oC полупроводниковую пластину. Нагрев порошка осуществляют фотонным...
2083025