Суховеев Сергей Петрович

 Изобретение относится к области микромеханики и может быть использовано для изготовления изделий из пластически деформируемых материалов, например, стекла с габаритными размерами до 5 мкм в поперечном сечении. Способ изготовления микроустройств из пластически деформируемых материалов включает формирование заготовки из нерастворимого тела, растворимой оболочки и системы проводников электри...