Лупачева А.Н.

 Использование: для оптимизации параметров технологического процесса осаждения пленок из газовой фазы. Сущность изобретения: способ позволяет при ограниченном числе экспериментов в многомерном пространстве внешних регулируемых технологических параметров определить область параметров, обеспечивающую высокую скорость осаждения и оптимальные заданные параметры пленки с высокой однородностью п...