PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Громадин А.Л.

Изобретатель Громадин А.Л. является автором следующих патентов:

Способ оптимизации параметров процесса осаждения пленок на подложке

Способ оптимизации параметров процесса осаждения пленок на подложке

 Использование: для оптимизации параметров технологического процесса осаждения пленок из газовой фазы. Сущность изобретения: способ позволяет при ограниченном числе экспериментов в многомерном пространстве внешних регулируемых технологических параметров определить область параметров, обеспечивающую высокую скорость осаждения и оптимальные заданные параметры пленки с высокой однородностью п...

2086038