Донина М.М.

 Использование: аналитическое приборостроение, а именно способы получения газочувствительной пленки датчиков газа. Сущность изобретения: помещают подложку в реактор, производят предварительную откачку реактора, нагрев подложки до температуры 280-300oC, напуск в реактор смеси реактивных газов, состоящей из кислорода и тетраэтилолова. Устанавливая конкретное соотношение компонентов по объему...

 Использование: изобретение относится к электронной технике. Сущность изобретения: на подложку наносят первый слой позитивного фоторезиста, проводят его сушку и экспонирование без шаблона, затем наносят второй слой позитивного фоторезиста, проводят его сушку, экспонируют через шаблон и проявляют рисунок в двухслойной пленке, при этом величину экспозиции первого слоя фоторезиста tЭ1 выбираю...