Рябков В.Л.

 Изобретения относится к области получения кремнийорганических полимеров, предназначенных для использования в электронной промышленности в качестве фоторезистор для фотолитографии. Целью изобретения является получение олиго(хлорвинил)силсенсквиоксанов, сохраняющих растворимость при хранении с температурой размягчения выше 60o и пригодных для использования в качестве компонентов фоторезисто...