Костров Д.В.

 Сущность изобретения заключается в том, что мультислойные вакуумно-плазменные покрытия формируют с помощью устройства, в котором в вакуумной камере 1 между катодом 4 и анодом 5 посредством поджигающего электрода 6 возбуждается дуга, горящая в парах материала катода 4. При поджигании двух, трех и более испарителей и включении планетарного механизма вращения 7 на укрепленное на подложкодерж...