Пинегин В.И.

 Изобретение относится к области контроля параметров пленочных покрытий в процессе их осаждения на подложку. Изобретение позволяет расширить диапазон анализируемых толщин слоев и обеспечивает возможность определения плотности растущего покрытия за счет выбора длины волны зондирующего излучения и угла падения излучения. Устройство состоит из установки для нанесения пленки, источника излучен...