PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Пинегин В.И.

Изобретатель Пинегин В.И. является автором следующих патентов:

Способ контроля параметров пленочного покрытия в процессе изменения толщины пленки на подложке и устройство для его осуществления

Способ контроля параметров пленочного покрытия в процессе изменения толщины пленки на подложке и устройство для его осуществления

 Изобретение относится к области контроля параметров пленочных покрытий в процессе их осаждения на подложку. Изобретение позволяет расширить диапазон анализируемых толщин слоев и обеспечивает возможность определения плотности растущего покрытия за счет выбора длины волны зондирующего излучения и угла падения излучения. Устройство состоит из установки для нанесения пленки, источника излучен...

2087861