Голубева Л.Н.

  Использование: в электронной технике для создания гибких соединений, преимущественно для гибких гермовводов блоков микроэлектронной аппаратуры. Сущность изобретения: производят формирование рисунка проводников на фольгированной подложке из полиимида и наносят на поверхность подложки полиимидный лак. Термообработку лака проводят при наложении однополярного импульсного поля при амплитудных...

 Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано, в частности, при формировании рисунка элементов на основе органического полупроводника - фталоцианина меди. Раствор для размерного травления пленок фталоцианина меди содержит, об.%: серная кислота - 16-17, азотная кислота - 16-17, соляная кислота - 16-17, уксусная кислота - 43-40, вода - остальное. Примене...