Франсуа Кристэн (FR)

 Субстрат помещают в камеру и нагревают с помощью прямой электромагнитной связи с индуктором, чтобы мог установиться градиент температуры в среде субстрата таким образом, что последний имеет более высокую температуру в частях, удаленных от наружных поверхностей, чем на их уровне. Реакционную газовую фазу предшественника инфильтруемого материала подают в камеру, его образованию благоприятст...