Желобова Е.П.
Изобретатель Желобова Е.П. является автором следующих патентов:
Способ изготовления мишени для магнетронного распыления из алюминия особой чистоты
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в металлургии в создании термостабилизированных профилей из алюминия особой чистоты. Целью изобретения является повышение эксплуатационных характеристик за счет стабилизации структуры. Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления мишени из алюминия особой чистоты, включающем штамповку, мишень охлаж...
2091501