PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Пендюрин В.А.

Изобретатель Пендюрин В.А. является автором следующих патентов:

Способ изготовления мишени для магнетронного распыления из алюминия особой чистоты

Способ изготовления мишени для магнетронного распыления из алюминия особой чистоты

 Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в металлургии в создании термостабилизированных профилей из алюминия особой чистоты. Целью изобретения является повышение эксплуатационных характеристик за счет стабилизации структуры. Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления мишени из алюминия особой чистоты, включающем штамповку, мишень охлаж...

2091501