Дикарев Ю.И.

 Использование: полупроводниковая электроника. Способ позволяет производить локальное плазмохимическое травление материала и получать при этом практически любую фигуру травления без использования маски. Сущность изобретения: способ предусматривает размещение материала между двумя электродами и образование области электрического разряда в газе между материалом и первым электродом подачей на...