Краснова Е.В.

 Использование: способ относится к металлургии, а именно к технологии полупроводниковых материалов, преимущественно для получения однородных сильнолегированных монокристаллов кремния с воспроизводимыми электрофизическими характеристиками. Сущность изобретения: способ включает многократный нагрев до (147050)K и охлаждение до (77050)K, которые проводят 4-5 раз. При этом обеспечивается снижен...