Денисюк Владимир Антонович[UA]

 Использование: в области микроэлектроники, в частности способах диффузии примеси для создания высоколегированных областей n-типа проводимости при изготовлении силовых полупроводниковых приборов: силовых биполярных и полевых транзисторов, силовых модулей, преобразователей. Сущность изобретения: способ диффузии примеси из твердого источника при изготовлении полупроводниковых приборов включа...