Осипов Григорий Алексеевич

 Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности, к способам изготовления шаблонов для печатных плат. Сущность изобретения: на подложку, выполненную из материала, прозрачного по крайней мере в одном из участков диапазона длин 60 нм в пределах от 10-5 нм до 4102 нм, последовательно наносят слои Cr-Cu-Cr, формируют фоторезистивную маску через негативный фотошаблон, удаляют из окон маск...