Середа Ю.В.

 Использование: в металлургической промышленности для вакуумной металлизации поверхностей и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде, в частности в устройствах для плазмохимического нанесения покрытия. Сущность изобретения: устройство для плазмохимического нанесения покрытия снабжено вакуумными сопротивлениями, а вакуумная камера 1 выполнена с вакуумным отсеком 6, разделе...