Андреев П.Е.

 Использование: технология селективного осаждения вольфрама, производство сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: парогазовая смесь для осаждения вольфрама, включающая гексафторид вольфрама, дополнительно содержит гексафторид молибдена при следующем соотношении ингредиентов. об. %: гексафторид молибдена 0,5 - 20; гексафторид вольфрама - остальное. 1 табл. Изобретение относитс...

 Использование: изобретение относится к деревообрабатывающей промышленности, в частности к модификации древесины. Сущность изобретения: для упрощения операции по обработке древесины и сокращения продолжительности процесса модификации древесину насыщают ацетилирующим реагентом, помещают между обжимающими поверхностями, нагретыми до температуры кипения продуктов реакции, но не более 200oC, и...