Вербицкий Олег Иванович

 Сущностью изобретения является устройство для нанесения покрытия при неглубоком вакууме. Вместо снижения давления остаточных газов испарение материала от источника производят при взаимном перемещении системы источник - заслонка относительно подложки, при этом заслонка перекрывает приграничную зону потока испаряемого материала, в которой происходит поглощение остаточного газа, и при этом п...