Гилев А.А.

 Изобретение относится к ионно-плазменной обработке, в частности к устройствам для нанесения покрытий в вакууме. Сущность изобретения: устройство, содержащее вакуумную камеру 1, магнитную систему 2, электродную систему 3 с ребрами 4, подложкодержатель 5 с подложками 6, системой питания 7, имеет электронную систему, выполненную в виде чередующихся колец, расположенных на расстоянии 1-3 мм д...