Озерова И.А.

 Изобретение относится к вакуумным системам, например, для технологических установок нанесения покрытий в вакууме. Вакуумная система технологических установок содержит откачиваемые вакуумные камеры и подключенные к ним через вакуумпровод и соединительный элемент форвакуумный и высоковакуумный насосы, вакуумные датчики, вакуумные клапаны, натекатели воздуха, вакуумные фланцевые разъемы. Сое...