Зорина Евгения Николаевна

  Изобретение относится к медицине, в частности к способам обработки поверхности, и может быть применено для стерилизации и дезинфекции Обработка осуществляется потоком динамической плазмы при атмосферном давлении Обрабатываемая поверхность пропускается через поток плазмы не менее одного раза со скоростью 0.6 - 1.5 м/с Это обеспечивает высокоэффективную обработку за секунды вместо...

  Использование: микроэлектроника, формирование элементов И С Сущность изобретения, внедрение примеси в материал подложки проводят в плазменной среде, сформированной в виде плазменного потока атмосферного давления при тем4 пературе не менее 10 К, образованного тремя сходящимися струями, в зону слияния которых подают легирующую примесь, а последующий отжиг проводят путем пересечения...

  (19) RU (11) (S1)S НО11.И гЕЗ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К ПАТЕНТУ " & j if)g f Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 5007516/25 (22) 01 11.91 (46) 1511.93 6юп. Мв 41-42 (71) Инженерный центр "Плазмодинамика" (72) Кулик П.П„Зорина ЕН.. Иванов 8.8.; Джон Андерсен Гей(6В} (73) Инженерный центр Ппазмодинамика" {54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИПИАЗНЫХ И АЛВВЗОПОДОЬНЫХ П...