Меткин Николай Павлович

  Использование: изобретение относится к нанесению тонких полимерных покрытий, в частности к устройствам для формирования тонких поли-пксилиленовых покрытий в газовой фазе из циклоди-п-ксипипена, и может быть использовано в микроэлектронике и биологии для уменьшения размеров и тепловой инерционности реактора, повышения равнотолщинности покрытия на поверхностях сложной конфигурации...

  Использование: изобретение относится к нанесению тонких полимерных покрытий, в частности к устройствам для формирования тонких поли-пксипипеновых покрытий в газовой фазе из циклоди-п-ксилилена (ЦДПК), и может быть использовано в микроэлектронике и биологии для снижения энергопотребления, уменьшения размеров и тепловой инерционности я для упрощения управления производительностью у...