Сидоренко Игорь Владимирович
Изобретатель Сидоренко Игорь Владимирович является автором следующих патентов:
Способ химико-механического полирования полупроводниковых пластин и стеклянных заготовок
Сущность изобретения: химико-механическое полирование проводят, как обычно. В качестве полировальника используют нетканый иглопробивной материал, состоящий из полиэтилентерефтальных волокон и пропитанный полиуретаном. (19) R (11) (5Ц 5 Н01L21 304 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К ПАТЕНТУ Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 5041937/25 (22) 14.05.92 (46) 30.10....
2002338