Павлов Георгий Яковлевич

  Использование: способ плазмо-химического травления поверхности твердого тела, используемый в технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: плазменный поток формируют при атмосферном давлении из. по меньшей мере, одной высокоэнтальпийной плазменной струи инертного и/или нейтрального газа и дополнительного газового потока, содержащего...