Рыбкин Владимир Никонович

  Использование: электронная техника, изготовление микросхем Сущность изобретения: для увеличения воспроизводимости геометрии пленочных элементов отверстия на высоте 5-100 мкм от плоскости маски, накладываемой на подложку, выполнены размером, на 50 - 2000 мкм превышающим заданный размер отверстий. С целью дополнительного увеличения воспроизводимости геометрии пленочных элементов ст...