Кмита Анатолий Михайлович

  Использование: технгология производства конструктивных элементов планарных устройств, таких как преобразователи и отражательные решетки (Р) для поверхностных акустических волн, электроды для полупроводниковых приборов. Суицнсоть изобретения: способ изготовления Р пленочных элементов состоит в следующем. На поверхность подложки (П) наносят первый рабочий слой и поверх него слой фо...