Волосов Вадим Иванович

  Использование: в электрофизике, в частности системах служащих для получения потоков быстрых тяжелых атомов, используемых, например, для имплантации ионов (атомов) в поверхность материалоа Сущность: применение ловушки с вращающейся плазмой в качестве источника быстрых тяжелых атомоа Изобретение обеспечивает повышение мощности источника быстрых тяжелых ионов (атомов) для ионной имп...