Опейкин В.Ф.

 Использование: способ включает следующие операции: изготовление активных элементов интегральной схемы; нанесение на них слоя контрольной металлизации; определение исправных элементов, удаление контрольной металлизации; соединение межсоединений исправных элементов методом бесшаблонной литографии. 3 ил. Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем, преимущественно на ос...