Шенауэр Юрий Эмильевич

 Применение: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве полупроводниковых интегральных схем, больших интегральных схем, сверхбыстродействующих интегральных схем, а также для создания многокристальных модулей и других гибридных микросборок. Сущность изобретения: большая интегральная схема содержит основание кристаллодержателя, выполненное из полупров...