Заказнова В.Д.

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в производстве пластин арсенида галлия на стадии финишного копирования. Цель изобретения улучшение плоскостности пластин при сохранении качества поверхности. Указанная цель достигается воздействием на пластины вращающегося полировальника и полирующего состава, содержащего абразив, сульфаминовую кислоту, пероксид...

 Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для полирования полупроводниковых частиц. Целью изобретения является повышение точности обработки. Указанная цель достигается тем, что на каждый спутник наклеивают три пластины, размещают спутники в гнездах кассеты, действуют на пластины вращающимся полировальным и абразивной композицией, причем линейная скорость...

 Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения: способ включает воздействие на наклеенные пластины вращающегося полировальника и абразивного состава с вязкостью 4 - 8 сП при нагружении пластин. В качестве полировальника используют лавсановую ткань. Обработку пластин ведут при линейной скорости точки полировальника, совпадающей с положением центра ка...