Богатырев С.Ф.

  Изобретение относится к производству огнеупорных изделий на основе карбида кремния и/или углерода для полупроводниковой технологии, в частности для оснастки в спецтехнологии. Сущность изобретения: полые пористые изделия, содержащие карбид кремния или углерод, пропитывают расплавом кремния, подаваемым через элемент с капиллярной структурой, при температуре изделия 1260 - 1400 С и температ...