Ваверс В.Я.

 Использование: изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для плазменного осаждения материалов в микроэлектронике. Сущность изобретения: редактор содержит корпус в виде трубы, на одном конце которого размещен патрубок для откачки реактора, а на другом - герметизирующая крышка. ВЧ-электроды размещены с внешней стороны корпуса, экранирующий элемент в виде диска из...