Стасюк И.О.

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем для скрепления пайкой кремниевого кристалла с держателем с помощью эвтектического сплава алюминий - германий. Цель изобретения - повышение надежности паяного соединения. Металлизированную алюминием посадочную поверхность кристалла покрывают пленкой припоя н...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве ППП и ИС для присоединения кремниевого кристалла к кристаллодержателю преимущественно путем пайки на эвтектику AlGe, Al-Ge-Au. Целью изобретения - повышение выхода годных. На посадочную поверхность кристаллов наносят слой алюминия и слой Al-Ge, на который в свою очередь наносят тонкий слой алюминия (30 - 150...

 Использование: изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для плазменного осаждения материалов в микроэлектронике. Сущность изобретения: редактор содержит корпус в виде трубы, на одном конце которого размещен патрубок для откачки реактора, а на другом - герметизирующая крышка. ВЧ-электроды размещены с внешней стороны корпуса, экранирующий элемент в виде диска из...