Шворобей В.Ю.
Изобретатель Шворобей В.Ю. является автором следующих патентов:

Способ контроля процесса термообработки фоторезиста
Назначение: изобретение относится к электронной технике, в частности к способам контроля технологических процессов в производстве гибридных интегральных схем и печатных плат, и может быть использовано на операциях контроля отверждения. Сущность изобретения: регистрируют зависимость изменения диэлектрической постоянной от времени термообработки. Об окончании процесса судят по достижении ди...
2009572