PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Буланов И.М.

Изобретатель Буланов И.М. является автором следующих патентов:

Способ контроля процесса термообработки фоторезиста

Способ контроля процесса термообработки фоторезиста

 Назначение: изобретение относится к электронной технике, в частности к способам контроля технологических процессов в производстве гибридных интегральных схем и печатных плат, и может быть использовано на операциях контроля отверждения. Сущность изобретения: регистрируют зависимость изменения диэлектрической постоянной от времени термообработки. Об окончании процесса судят по достижении ди...

2009572