Эйдельман Б.Л.

 Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для контроля качества подготовки кремниевых пластин с внутренним оксидным геттером. Сущность изобретения: способ позволяет контролировать ширину приповерхностной бездефектной зоны в кремниевых пластин, например, p- и n-типа проводимости за счет освещения ее импульсами ИК-света с объемным поглощением квантов...