Щербаков А.Ю.

 Изобретение относится к экспериментальной физике, предназначено для анализа поверхности твердого тела и позволяет расширить функциональные возможности прибора посредством дополнительной регистрации оптического излучения, возникающего при взаимодействии первичного ионного пучка с поверхностью образца. Сущность изобретения: устройство содержит вакуумную систему, двухканальный монопольный ма...