Крылов Б.Г.

 Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при создании трехмерных матриц. Сущность: способ включает конформное нанесение на матрицу проводящего слоя такой толщины, что меньшие промежутки между столбами полностью смыкаются. При этом столбы формируют с утолщением у основания таким образом, что промежутки у основания столбов по второму направлению мень...