Недоспасов В.Г.

 Применение: изобретение относится к микроэлектронике. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения, держатель для размещения пластин, резервуар с фоторезистом, установленный на валу центрифуги. Резервуар снабжен шлюзовой камерой, выполненной в виде концентрично установленного на общем основании полого кольца, имеющего на внутренней стенке сквозные каналы. 4 ил....

 Использование: для крепления полупроводниковых пластин в технологическом оборудовании для жидкостной обработки центрифугированием. Цель изобретения - упрощение конструкции держателя. Сущность изобретения: на дисковой поверхности держателя выполнены гнезда для установки полупроводниковых пластин и полости под ними. Ближайшая по направлению движения держателя сторона каждой полости соединен...

  Использование: в электронной и радиотехнической отраслях промышленности. Сущность изобретения: устройство содержит реактор с вакуумной системой откачки и рабочей камерой с размещенными в ней емкостной системой возбуждения ВЧ-разряда и карасульным держателем, имеющим установленное на валу вращения кольцо, по периферии которого расположены стержневые опоры для колпачков, снабжено каналами...