Казаков И.П.

  Изобретение относится к сверхпроводящей технике и может быть использовано при изготовлении сверхпроводящих устройств микроэлектроники, приемников ИК-излучения и сильноточных устройств. Сущность изобретения: ускоренный до энергии 5 - 50 кэВ пучок ионов инертного газа из ионного источника формируется и сепарируется магнитной линзой. Ионы, пройдя сквозь камеру дифференциальной откачки, ввод...