Семенюк В.Ф.

 Изобретение относится к области ионно-плазменной обработки и может найти применение в микроэлектронике при производстве интегральных схем. Целью изобретения является повышение скорости ионно-плазменной обработки (ИПО) и уменьшение загрязнения обрабатываемого изделия (И) продуктами распыления электродов (Э) разрядной камеры (К). Для достижения поставленной цели вакуумная К выполнена в виде...

 Использование: в конструкции стреловых самоходных кранов. Сущность изобретения: между рамой ходовой части крана и опорно-поворотным устройством с круговой симметрией расположены три универсальных силоизмерительных датчика растяжения-сжатия. С целью автоматического определения фактической производительности крана и режима работы механизмов кран снабжен системой обработки сигналов силоизмер...

 Использование: высокоточные измерения растягивающих усилий малого номинала. Сущность изобретения: датчик содержит корпус, две полки, соединенные между собой вертикальной стенкой, две идентичные дополнительные вертикальные стенки и две идентичные дополнительные полки, каждая из которых выполнена с силовводящим элементом, образуют упругий элемент. Связанные с полками тензорезисторы располож...

 Использование: высокоточные измерения усилий сжатия малого номинала. Сущность изобретения: датчик содержит корпус. Три полки и две вертикальные стенки образуют упругий элемент. Первая и вторая полки соединены между собой вертикальной стенкой. Связанные с этими полками тензорезисторы расположены по обе стороны от вертикальной стенки. Вторая вертикальная стенка смещена относительно первой в...