Сунг-ил Ким (KR)
Изобретатель Сунг-ил Ким (KR) является автором следующих патентов:
Состав разбавителя для смывания ненужного фоторезиста на пластине в процессе изготовления полупроводниковых устройств (варианты) и способ смывания ненужного фоторезиста (варианты)
Использование: для смывания ненужного фоторезиста в процессе изготовления полупроводниковых устройств. Техническим результатом изобретения является обеспечение возможности удаления ненужного фоторезиста по краю и на оборотной стороне пластины составом, обладающим достаточным коэффициентом растворимости для фоторезиста, но практически нетоксичным для человеческого организма. Сущность изобр...
2126567