Фролова М.С.

  Использование: изобретение относится к устройствам предназначенным для измерения концентрации газовых компонентов. Устройство позволяет повысить точность измерений и достоверность концентрации газовых компонентов. Сущность изобретения: устройство содержит полупроводниковую мембрану, имеющую по краям ребра жесткости, на лицевую сторону которой нанесен первый слой диэлектрика, поверх него...