Кауль А.Р.

  Использование: приборостроение, микроэлектроника. Сущность изобретения: разогрев проводят электронным пучком в воздухе. Удельная мощность 15-150 Вт/см2 в течение 10 - 300 с. Охлаждают до 400С в течение 50 - 250 с. 1 табл. Изобретение относится к способам получения микроэлектронных толстопленочных элементов, применяемых в гибридных интегральных схемах, СВЧ-устройствах, чувствительных элем...