Семенов Э.И.

  Изобретение относится к средствам нанесения покрытий и тонких пленок методом электронно-лучевого напыления в вакууме и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и электронной промышленности. Цель изобретения - повышение качества и долговечности элементов конструкции вакуумной установки. Сущность изобретения: что установка содержит в рабочей камере электронную пушку с сист...